金屬密封壓力控制器SLA7840

        穩定的壓力控制以及更高的過程氣體純度，最大限度優化處理效果

        布魯克斯儀器的金屬密封壓力控制器的設計特點是經久耐用，同時還具備持久和得到認可的準確性，全球液體測量和控制領域的領軍企業用戶均信賴布魯克斯。我們的電子壓力控制器將核心控制技術用于自身業內領先的熱質量流量控制器。

        電子壓力控制器不存在傳統機械彈簧式隔膜壓力調節器所導致的衰減和滯后問題。同時，選擇金屬密封壓力控制器可提高氣體純度，原因是此類控制器不使用會發生氧滲透的彈性體，并且金屬密封件能夠減少維護次數可無限期使用。

        另外還提供帶有內部壓力傳感器的布魯克斯壓力控制器以在 torr 級至 500 psig 范圍內進行壓力控制。結果：能夠始終確保關鍵半導體工藝準確執行并得到最嚴格控制的壓力控制器。

關鍵應用

• 硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

• 化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD

• 設計精密的表面涂層

• 分析系統

• 真空處理應用

選擇最適合自身項目要求的壓力控制設備。

高純度流路，極高的可重現性、穩定性和響應速度

型號 SLA7840

        布魯克斯 SLA7840 型設備為高純度金屬密封儀器，可同時控制壓力并測量流速。遠程壓力傳感器信號輔以可調節積分 PID 控制元件和共面控制閥可將壓力維持在目標值。相較于其他金屬密封控制器，共面閥可降低壓力變化產生的影響并降低泄漏速度，從而使設備在長時間使用的條件下更加穩定。

特點

• 一體化壓力傳感器

• 響應時間：<1 秒

• 流量測量范圍寬，滿量程流速測量范圍可達 0 - 3 sccm 至 0 – 30,000 sccm

• 最大壓力為 500 psig

• 全金屬密封流路：最高達 32μ 英寸的 Ra 表面處理

• 共面閥可降低泄漏速度

• 多氣體/多量程功能可存儲并與設定多達 10 種氣體校準信息并且僅需一臺設備即可實現

• DeviceNet? 和模擬通信選件

優勢

• 共面閥控制范圍的提升可降低過程壓力變化所產生的影，響從而使設備在長時間使用時更加穩定。

• 全金屬接液流路可使工藝條件不受顆粒物、水汽和污染物影響

• 設備還可配置為質量流量控制器以用于校準或測試

• 多氣體/多量程功能可減少庫存

• 共面閥可擴大控制范圍從而減少過程控制所需部件數量

• 封裝結構緊湊，節省空間，容易改裝

• 數字通信便于調試，能減少系統布線

型號

規格

性能

等級

機械

電氣