金屬密封壓力控制器PC100 系列

        穩定的壓力控制以及更高的過程氣體純度，最大限度優化處理效果

        布魯克斯儀器的金屬密封壓力控制器的設計特點是經久耐用，同時還具備持久和得到認可的準確性，全球液體測量和控制領域的領軍企業用戶均信賴布魯克斯。我們的電子壓力控制器將核心控制技術用于自身業內領先的熱質量流量控制器。

        電子壓力控制器不存在傳統機械彈簧式隔膜壓力調節器所導致的衰減和滯后問題。同時，選擇金屬密封壓力控制器可提高氣體純度，原因是此類控制器不使用會發生氧滲透的彈性體，并且金屬密封件能夠減少維護次數可無限期使用。

        另外還提供帶有內部壓力傳感器的布魯克斯壓力控制器以在 torr 級至 500 psig 范圍內進行壓力控制。結果：能夠始終確保關鍵半導體工藝準確執行并得到最嚴格控制的壓力控制器。

關鍵應用

• 硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

• 化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD

• 設計精密的表面涂層

• 分析系統

• 真空處理應用

選擇最適合自身項目要求的壓力控制設備。

壓力準確，控制精確

型號 PC115 / PC125

        PC100 系列壓力控制器和壓力表結合大量高性能技術特點，為高要求的半導體、氣相沉積和其他超精密制造工藝提供了新的壓力控制準確度和可靠性水平。

        于可靠的 Brooks GF100 質量流量控制器技術之上，PC100 系列特有高純度全金屬流路，專門設計的增強傳感器技術以消除傳感器漂移，以及用戶界面和設備診斷能力，可使設備評價和故障排除更容易，產生有限的維修中斷和減少停機時間。

特點

• 響應時間：<1 秒

• 滿量程流速高達 10 slm

• 傳感器壓力范圍：1000 Torr FS

• 全金屬密封流路：5μ 英寸 Ra 表面拋光

• PC125 使用嵌入式流量計，包括與高速 ARM 處理器結合在一起的高耐腐蝕性 Hastelloy? C-22 流量傳感器

• 快速作用無隔膜閥組件

• 帶有易接近按鈕的高可視性 LCD 顯示屏，用于流量、溫度和網絡地址本地指示

• 獨立的診斷/維護端口

• DeviceNet? 協議

優勢

• 高性能部件可提供快速響應和設置時間以改進壓力控制

• 減少旁通排氣氣體消耗以及相關減排成本

• 遵從 SEMI F20 的全金屬耐腐蝕接液流路與整體減少的表面積及未波及體積一起確保在清洗步驟更快干透

• 長期熱或壓力傳感器設備穩定性最大限度提高產量和吞吐量

• 用于要求緩慢上升壓力控制過程的用戶可編程啟動功能

應用

• 半導體高級蝕刻工具

• 薄膜化學氣相沉積系統（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）

• 物理氣相沉積（PVD）系統

型號

規格

性能

機械

電氣

承諾